由SEMI China主办，SEMI认证活跃机构的米格实验室承办的SEMI EHS 标准 Workshop于10月在武汉举行。SEMI标准领域的资深专家孙吟龙讲师通过剖析S2系列标准，让工程师系统性地学习到，如何正确判定机台的安全性。内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、危险警告标签、液体加热系统、通风排气、资质评估、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级、噪音污染等级。

有来自长江存储、长鑫科技、中芯南方等Fab厂，以及来自拓荆科技、天马微电子、中微半导体、盛美半导体等设备公司的30余位工程师参与了本次Workshop。

本次Workshop部分探讨内容：
• SEMI标准体系介绍
• SEMI S2报告要求及结构说明
• 风险评估与电气控制回路性能等级要求
• 半导体工艺机台电气安全设计准则
• 火灾防护与火灾事故调查
• 机械安全

（SEMI EHS Workshop 2024）

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