由SEMI中国主办的“SEMI信息控制标准及应用技术研讨会”于2021年11月16日在上海长三角资本市场服务基地举行。

会议由格创东智科技有限公司首席智能制造顾问王锦主持，来自矽美科、珂矽信息技术、中微半导体、哥瑞利软件、上扬软件诸多位专家做报告分享，现场与会嘉宾对SEMI 标准应用及最新进展展开火热交流。

矽美科  副总裁  Alan Weber

矽美科副总裁Alan Weber就EDA标准的工厂应用及效益进行了探讨。早在2005年开始Global Foundries, 东芝，台积电，联电，三星，纷纷开始采用 InterfaceA FreezeⅠ标准，2015年之后海力士，英飞凌、华邦电子、TPSCo、德州仪器开始采用 Interface A FreezeⅡ 标准。Alan 介绍了目前业界基于EDA数据开发的各项应用及这些应用所带来的ROI （投资回报率）。

珂矽 执行副总经理 刘波

珂矽信息技术（上海）有限公司执行副总经理刘波介绍SEMI设备基本通讯标准层次结构。演讲内容从标准出发，梳理了目前半导体生产加工过程中用到的主要SECS GEM及GEM300 通讯标准。GEM标准是半导体自动化生产制造的基本行为规范，加快生产制造设备与工厂的整合过程，也是泛半导体行业实现智能制造和工业4.0的关键技术。GEM300标准是所有300mm晶圆厂都在遵守的行业标准。

中微半导体 主任级软件工程师朱秋龙

中微半导体设备（上海）股份有限公司主任级软件工程师朱秋龙向大家阐述SECS/GEM标准在设备端的实现。中微的设备端工厂自动化模块(FactoryAutomation，简称：FA)主要有两部分：面向设备端控制系统的控制和处理数据功能和面向工厂自动化系统的SECS/GEM功能(Foundation FA)。朱秋龙还介绍了SECS/GEM在200mm和300mm机台端的运用。

哥瑞利软件 MES产品总监 叶宇晖

上海哥瑞利软件股份有限公司MES产品总监叶宇晖介绍了超高效率MOM（Manufacturing Operations Management）层的方法。MOM层具有系统交互设计低损耗、低维保、共享信息、高效率等诸多优点。

珂矽 执行副总经理 刘波

珂矽信息技术（上海）有限公司执行副总经理刘波详细探讨了InterfaceA标准介绍及FreezeⅢ的状态更新。Interface A系列标准自2005年第一次发布Freeze版本以来，随着在先进晶圆厂的不断实践摸索中，也在不断的得到完善。FreezeIII即将到来，更优质高高效的数据采集传输方式也为晶圆厂不断推高良率提供强大助力。

上扬软件 技术总监 甄伟

上扬软件（上海）有限公司技术总监甄伟详细探讨了智能制造创新与应用。上扬myCIM 4.0 MES推动半导体工厂自动化转型、对应国内半导体功能需求挑战。甄伟总智能制造分级建议，设备自动化 Auto1 +Definition+Connectivity+、搬送自动化Auto2+Smart+、派工自动化Auto3+Smart+、过程自动化Modelling+Customized+Smart、自愈可优化+ Deep Learning with Big Data +。