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SEMI 标准时事季刊

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SEMI标准

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半导体制造

即将举行的会议

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“由于OEM和晶圆厂都朝着智慧制造方向发展,也因此对SEMI自动化标准的深入理解。” SEMI标准为电子制造提供了至关重要的成功因素,包括大数据采集和高级分析功能。”
同行组徽标
迈克·克罗普
PEER集团首席执行官
“ SEMI标准活动使我们能够在整个价值链中建立关系,包括各方面,供应商和最终用户。总的SEMI标准最新方向,着重于TEM显微镜工作流程自动化,取代原本只针对合作开发专有的解决方案方案,以及竞争性的“锁定规格”。”
赛默飞世尔
乐夸曼
高级市场开发经理
“无论是将“数位还原生”与Fab中的真实对应副本相匹配,还是使用“大数据”来支持机器学习应用,SEMI设备自动化标准都已为未来趋势的智慧制造挑战做好了准备!”
Cimetrix徽标
鲍勃·雷贝克
Cimetrix总裁兼首席执行官

常用标准

半导体晶圆厂设备的平均采购订单可能包含20个SEMI标准参考。以下系列为最常使用到之SEMI标准。

  • 安全规范

    此系列包含工厂设备及燃料与程序之安全规范。

  • 设备自动化

    此系列标准涵盖设备自动化和数据兼容性。

  • 硅材料

    此系列标准包含有关材料纯度,基材定义等之广泛标准。

  • 液体化学品

    液体化学品标准满足了围绕液体化学品和液体化学品分销的行业需求。

    • 用于评估液体化学品和用于容纳和运输它们的材料的分析方法。
    • 液体化学品的规格及其运输材料。
    • 污染相关问题和分析方法。
    • 液体化学品分配系统和组件的性能规格。
    • 子系统和组件的物理接口规范,以及定义,使用,处理和安装的指南。
    • 寻找更多的细节。


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单个账户允许一个自然人阅读、打印和保存所有当前发布的标准文件PDF格式,有效期为1年

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